純蒸汽滅菌設備是利用機械的作用，在通入蒸汽前預先將滅菌器柜內和物品包內約98%的冷空氣抽出，達到預真空狀態，再進行蒸汽通入，蒸汽與滅菌器室內冷空氣置換，如此反復3次以上或再進行正壓蒸汽脈沖，使冷空氣得到排除，蒸汽迅速穿透滅菌的物品并達到滅菌溫度。冷空氣的存在是造成滅菌失敗的主要因素，由于冷空氣排出比較*，蒸汽穿透迅速，具有滅菌快速的優點。在一定壓力下產生的蒸汽、濕度高、穿透力強，能夠迅速有效地殺滅微生物，使菌體蛋白質凝固代謝發生障礙，導致細菌死亡。目前，仍為消毒供應中心使用的主要滅菌設備。適用于耐濕、耐熱材料的器械滅菌處理，例如金屬類、玻璃類、橡膠類等。
純蒸汽滅菌設備的潔凈保證：
(1)純蒸汽除可由用戶提供外，也可由滅菌柜附帶的純蒸汽發生器提供。即純蒸汽管路采用“長流水、長流汽”的原理設計，保證了純蒸汽的潔凈度。純蒸汽進入柜室前，先通過汽液分離器，以保證蒸汽的飽和度，再經0.22m過濾器過濾，確保純蒸汽無菌、無熱原和無微粒。同理，注射用水使用前也需經0.22m過濾器過濾。采用注射用水進入滅菌柜內室，利用夾套加熱直接產生純蒸汽的工藝，簡化管路系統，提高工效，節約能源。自供純蒸汽的滅菌，可避免外供純蒸汽由于較長距離的管路輸送及保溫因素等導致的散熱與壓損，或含水量較高達不到飽和蒸汽的品質要求，從而導致滅菌溫度的降低及影響滅菌效果的可靠性。
(2)采用百級潔凈區的潔凈空氣作為滅菌柜室的補充氣體用于滅菌后物品的冷卻，防止普通空氣的補充對滅菌后物品的二次污染。
(3)所有排放口均裝有高性能的止回閥和防倒流過濾器，可使各排放管匯總后排入下水道。排放總管上高密封性能的切斷閥，以備滅菌柜停車時能切斷與下水道的連接，起到雙保險的作用。
(4)純蒸汽滅菌設備所有純蒸汽、注射用水、補充空氣均采用316L不銹管和衛生級隔膜閥等，并采用快開式卡箍接口，達到衛生級要求，又便于拆卸與清洗。
